Prexision-MMS

掩膜计量系统

Prexision-MMS

掩膜计量系统

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掩膜计量系统

掩膜计量系统

证明您的质量

为了说明产品是符合规范的,您必须证明激光掩膜上的图形能够在制造显示屏时恰当地对齐。为了实现这一点,您需要比光刻机精度更高的测量设备。


主要优势

  • 30%

    更佳的配准
  • 20%

    更好地将掩膜套合到掩膜上
  • 30%

    更短的周转时间

 

  • 最新的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复性
  • 用我们的专利技术改善配准测量。
  • 因为第一次测量的结果精确无误,这大大给您节省了周转时间。
  • 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。

 

基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在,您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了!

为充分利用其性能,您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的,这样您的光掩膜才能以最高的质量描绘出来。

 Prexision-MMS 提供两个型号。G8 型最高可处理用于 8 代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于 G10 型,最高可处理 11 代显示器尺寸。


技术指标

 

  Prexision-MMS
掩膜对掩膜套合3σ[nm] 40
配准3σ[nm] 65
关键尺寸可重复性3σ[nm] 50
最大尺寸 G8


手册


服务


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