FPS6100
适用于多种
应用
FPS6100
适用于多种
应用
FPS6100
适用于多种
应用
使多功能光掩模制造
具有无与伦比的灵活性
新型FPS6100传递的画面质量和生产效率有所提高，符合当下更为先进的多功能市场细分的要求。
许多应用和生产环境可以设置FPS6100：电子包装、触摸屏、滤色镜、精细的金属膜片、3D模具等等。这意味着你可以充分利用现行产品体系，同时瞄准新的商机。
与之前的FPS5500相比，FPS6100能够提供更高的曝光速度以及更优质的画面质量。如果您的FPS系统是老一代的，您可以将它升级至FPS6100系列，不仅节省成本同时提高经营的能力和质量。
87%
减少下载时间76%
提高曝光速度40%
CD均匀性提高
- 生产效率提高，曝光速度更快，减少辅助操作时间
- 画面质量更优质，更小的成像单位
- 6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性
- FPS5100/5300/5500可升级
| FPS6100 | Lvl 80 | Lvl 60 | Lvl 40 | |||
| 曝光速度[mm²/min] | 525 | 1250 | 2600 | |||
| 最小L/S 溶解（pitch/2） | 0.75 | 1.2 | 2.0 | |||
| CD均匀性3σ [nm] | 30 | 40 | 60 | |||
| 套合3σ[nm] | 70 | 85 | 100 | |||
| 最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | |||||
| FPS6100 | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 | |||
| 曝光速度[mm²/min] | 6000 | 8000 | 12000 | |||
| 最小L/S 溶解（pitch/2） | 3.5 | 5.0 | 7.0 | |||
| CD均匀性3σ [nm] | 80 | 100 | 200 | |||
| 套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 | |||
| 最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | |||||
| FPS6100E | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 |
| 曝光速度[mm²/min] | 5000 | 8000 | 12000 |
| 最小L/S 溶解（pitch/2） | 6.0 | 8.0 | 12.0 |
| CD均匀性3σ [nm] | 600 | 700 | 900 |
| 套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 |
| 最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200
有许多可供选择的选项配备在您的系统中，使您的系统完全符合顾客的要求。如果您已经安装了FPS5500系统，这些选择也可以用做您的附加值产品。
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