FPS6100

适用于多种
应用 


FPS6100

适用于多种
应用 


FPS6100

适用于多种
应用 

使多功能光掩模制造

具有无与伦比的灵活性

新型FPS6100传递的画面质量和生产效率有所提高,符合当下更为先进的多功能市场细分的要求。

许多应用和生产环境可以设置FPS6100:电子包装、触摸屏、滤色镜、精细的金属膜片、3D模具等等。这意味着你可以充分利用现行产品体系,同时瞄准新的商机。

与之前的FPS5500相比,FPS6100能够提供更高的曝光速度以及更优质的画面质量。如果您的FPS系统是老一代的,您可以将它升级至FPS6100系列,不仅节省成本同时提高经营的能力和质量。


主要优势

  • 76%

    提高曝光速度
  • 87%

    减少下载时间
  • 40%

    CD均匀性提高

 

  • 生产效率提高,曝光速度更快,减少辅助操作时间
  • 画面质量更优质,更小的成像单位
  • 6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性
  • FPS5100/5300/5500可升级

技术指标

 

FPS6100 Lvl 80  Lvl 60 Lvl 40 
曝光速度[mm²/min] 525 1250 2600
最小L/S 溶解(pitch/2) 0.75 1.2 2.0
CD均匀性3σ [nm] 30 40 60
套合3σ[nm] 70 85 100
最大掩膜尺寸 [mm]     813x813*

 

FPS6100 Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15
曝光速度[mm²/min] 6000 8000 12000
最小L/S 溶解(pitch/2) 3.5 5.0 7.0
CD均匀性3σ [nm] 80 100 200
套合3σ[nm] 120 140 160
最大掩膜尺寸 [mm]     813x813*

 

FPS6100E Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15 
曝光速度[mm²/min] 5000 8000 12000
最小L/S 溶解(pitch/2) 6.0 8.0 12.0
CD均匀性3σ [nm] 600 700 900
套合3σ[nm] 120 140 160
最大掩膜尺寸 [mm]     813x813*

* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200

 


可选性

有许多可供选择的选项配备在您的系统中,使您的系统完全符合顾客的要求。如果您已经安装了FPS5500系统,这些选择也可以用做您的附加值产品。

 


服务


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