Prexision-MMS

Display Masken
Vermessungssystem

Prexision-MMS

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Masken-Messsystem

Überprüfen Sie Ihre Qualität

Als Nachweis, dass Sie die technischen Spezifikationen erfüllen, müssen Sie während der Herstellung eines Bildschirms in der Lage sein, die präzise Ausrichtung der Fotomasken zu überprüfen. Zu diesem Zweck benötigen Sie eine Messausrüstung, die noch genauere Messungen vornimmt als der Laser-Maskenschreiber selbst.


Wesentliche Vorteile

  • 30%

    Bessere Erfassung
  • 20%

    Bessere Lageermittlung
  • 30%

    Kürzere Bearbeitungszeit

 

  • Höchste Präzision und Wiederholgenauigkeit mit der neuesten, innovativen Prexision-Plattform.
  • Bessere Referenzerfassung durch unsere eigenständige Technologie.
  • Schnellere Bearbeitungszeiten, denn Sie können bereits dem ersten Messergebnis trauen.
  • Nutzung des gesamten Potenzials unserer Prexision-Laser-Maskenschreiber.

Prexision-MMS, das auf der akkuratesten Prexision-Plattform basiert, ermöglicht Referenz-Messungen größerer Bereiche auf einem vollständig neuen Niveau. Jetzt können Sie allen zeigen, wie gut Ihre Fotomasken sind.

Das Leistungsvermögen Ihres Messsystems ist auch für die Feinabstimmung Ihrer Laser-Maskenschreiber entscheidend, damit Sie deren volle Leistung nutzen können und Ihre Fotomasken mit erstklassiger Qualität geschrieben werden.

Prexision-MMS wird in zwei Versionen angeboten. Modell G8 ist für die Maskengröße bis zur Generation mit Glasgröße 8 geeignet, Modell G10 bis zur Generation mit Glasgröße 11.


Technische Daten

 

  Prexision-MMS
G8 model
Prexision-MMS
G10 model
Lageermittlung der Masken 3σ [nm] 40
Referenz-Erfassung 3σ [nm] 65
CD-Wiederholbarkeit 3σ [nm] 50
Größe der Maske 1400 x 1620 1700 x 2000

 


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Service


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