FPS6100

Convient à diverses
dapplications

 


FPS6100

Convient à diverses
dapplications

 


FPS6100

Convient à diverses
dapplications

 

La production de photomasques

polyvalents permet une flexibilité inégalée

La nouvelle FPS6100 offre une haute qualité d’image et une forte productivité qu’exigent le marché des segments les plus avancés à usages multiples aujourd’hui.

La FPS6100 peut être configurée pour de nombreuses applications et environnements de production : habillage électronique, écrans tactiles, filtres de couleur, masque pour métal fin, moules 3D et plus encore. Cela signifie que vous pouvez utiliser le système pour les produits actuels, et en même temps viser de nouvelles opportunités d’affaires.

La FPS6100 offre à la fois une grande vitesse d’écriture et une meilleure qualité d’image par rapport à la FPS5500. Et si vous avez une ancienne génération de FPS, elle peut évoluer vers les séries FPS6100, vous permettant ainsi, à faibles coûts, d’ajouter capacité et qualité à votre activité.


Principaux avantages

  • 47%

    Augmenter la vitesse d’écriture
  • 80%

    Réduire le temps de chargement
  • 40%

    CD Uniformité améliorée

 

  • Augmenter la Productivité avec une vitesse d’écriture plus rapide.
  • Qualité d’image supérieure avec un quadrillage resserré.
  • Plate-forme d’extension avec 6 niveaux d’écriture et écriture Emulsion.
  • Evolutive à partir de la FPS5100/5300/5500

Spécifications

 

FPS6100 Lvl 80  Lvl 60 Lvl 40 
Writing speed [mm²/min] 525 1250 2600
Minimum L/S resolved (pitch/2) 0.75 1.2 2.0
CD Uniformity 3σ [nm] 30 40 60
Overlay 3σ [nm] 70 85 100
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100 Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15
Writing speed [mm²/min] 6000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 3.5 5.0 7.0
CD Uniformity 3σ [nm] 80 100 200
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100E Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15 
Writing speed [mm²/min] 5000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 6.0 8.0 12.0
CD Uniformity 3σ [nm] 600 700 900
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [mm]     813x813*

* Tailles supplémentaires (1100 x 1100 et 900x1200) disponibles en option.


Options

Plusieurs options sont disponibles, afin que vous puissiez équiper votre système en conformité précise avec les exigences de votre client. Ces options sont également disponibles en tant que produits à valeur ajoutée pour vos systèmes FPS5500 déjà installés.

 


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