Prexision-MMS

フォトマスク
座標測定装置

 

Prexision-MMS

フォトマスク
座標測定装置

 

Prexision-MMS

フォトマスク
座標測定装置

 

座標測定装置が

フォトマスクの品質を証明

ディスプレイ製造におけるフォトマスクの仕様の適合性を示すためには、フォトマスク上のパターンが高い位置精度で描画されていることの証明が欠かせません。これを達成するには、レーザーマスク描画装置以上に精度が優れた測定装置が必要となります。


主な利点

  • 30%

    描画位置精度の向上
  • 20%

    オーバーレイの改善 (Mask to Mask)
  • 30%

    測定時間の短縮

 

  • マイクロニックの革新的Prexisionプラットフォームによる、優れた精度と再現性
  • マイクロニック独自の技術で改良された位置精度測定
  • 測定時間の短縮(初回測定結果の採用可能)
  • マイクロニックのレーザーマスク描画装置Prexisionの性能を最大限に活用可能

 

マスク測定装置Prexision-MMSは、最高レベルの精度を持つマスク描画装置Prexisionのプラットフォームをベースにしています。大型マスクの描画位置精度測定を新たなレベルに引き上げ、高精度フォトマスク品質保証が可能となります。

測定装置の性能は、高度に調整されたレーザーマスク描画装置の性能をフルに引き出すために非常に重要で、最高品質のフォトマスク製造を可能にする大切なポイントのひとつです。


仕様

 

  Prexision-MMS
オーバーレイ(Mask to Mask) 3σ [nm] 40
位置精度 3 σ [nm] 65
CD再現性 3 σ [nm] 50
マスクサイズ G8


パンフレット


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