FPS6100

多種多様な
用途に対応

FPS6100

多種多様な
用途に対応

FPS6100

多種多様な
用途に対応

多用途 フォトマスク描画装置

柔軟性は比類なきレベルへ

マイクロニックの新製品FPS6100は、現在のマルチパーパス市場の最先端のご要求にお応えするために、さらなる高画質とより優れた生産性をご提供します。

FPS6100は多様なアプリケーションや生産環境に合わせて装置を構成することができ、電子パッケージ、タッチパネル、カラーフィルター、ファインメタルマスク、3Dモールド等、幅広いアプリケーションに対応します。現行製品のために装置をフル活用するだけでなく、新たなビジネスへの挑戦を可能にします。

マイクロニックのFPS6100は、従来機のFPS5500に比べ、描画速度を高速化すると同時に画質改善を実現しました。FPSシリーズの旧機種はいずれもFPS6100にアップグレードが可能で、生産能力と品質をコスト効率良く向上することに寄与します。


主な利点

  • 76%

    描画速度の高速化
  • 87%

    ローディングタイムの短縮
  • 40%

    CD均一性の改善

 

  • 描画速度の高速化とオーバーヘッドタイムの短縮による生産性の向上
  • より精細な描画グリッドによる優れた画質
  • 拡張性が高いプラットフォーム - 6種類の描画レベルとエマルジョン描画
  • マイクロニックのマスク描画装置FPS5100/5300/5500からアップグレード可能

仕様

 

FPS6100 Lvl 80  Lvl 60 Lvl 40 
Writing speed [mm²/min] 525 1250 2600
Minimum L/S resolved (pitch/2) 0.75 1.2 2.0
CD Uniformity 3σ [nm] 30 40 60
Overlay 3σ [nm] 70 85 100
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100 Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15
Writing speed [mm²/min] 6000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 3.5 5.0 7.0
CD Uniformity 3σ [nm] 80 100 200
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100E Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15 
Writing speed [mm²/min] 5000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 6.0 8.0 12.0
CD Uniformity 3σ [nm] 600 700 900
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [nm]     813x813*

* 描画エリア拡張機能の追加により、1100x1100 または 900x1200 まで可能(オプション)

 


オプション

多数のオプションをご用意しております。これらのオプションを追加することで、お客様のご要求に正確に適合できる装置にすることが可能です。オプションは、既に設置されている マイクロニックのマスク描画装置FPS6100へも追加可能です。


サービス


お客様のベストパートナーとして

エレクトロニクス業界で30年以上市場をリードしてきたマイクロニックにお任せください。市場での急速な変化を理解し、お客様のご要望に迅速に対応するために世界50カ国以上でビジネスを展開しています。お客様及び我々のミッション実現のために先進のテクノロジーをご提供します。

 


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