Prexision-MMS

디스플레이 마스크
측정장비

Prexision-MMS

디스플레이 마스크
측정장비

Prexision-MMS

디스플레이 마스크
측정장비

마스크 측정 시스템

품질 검증

포토마스크의 사양 적합성을 검증하려면 마스크의 패턴이 디스플레이 생산 중에 적절히 정렬될 것인가를 입증할 수 있어야 합니다. 이를 위해서는 레이저 마스크 노광기보다 정밀도가 높은 측정 장비가 필요합니다.


주요 이점

  • 30%

    REGISTRATION 성능 개선
  • 20%

    마스크와 마스크의 OVERLAY 성능 향상
  • 30%

    측정시간 향상

 

  • 최신의 혁신적 Prexision 플랫폼에 기반한 우수한 정확도와 반복성
  • 당사의 독점적 기술을 활용한 향상된 registration 측정
  • 1차 측정 결과를 신뢰할 수 있으므로 보다 빠른 처리 시간
  • Prexision 레이저 마스크 노광기의 모든 잠재력을 활용함

 

가장 정확한 Prexision 플랫폼 기반의 Prexision-MMS는 넓은 면적에서의 registration 측정을 완전히 새로운 수준으로 끌어올렸습니다. 이제 귀사의 포토 마스크가 얼마나 뛰어난가를 정확히 보여 줄 수 있습니다.

측정 시스템의 성능은 정밀한 레이저 마스크 노광기에도 매우 중요합니다. 포토 마스크를 최고 품질로 노광하려면 레이저 마스크 노광기의 성능을 최대한 활용할 수 있어야 하기 때문입니다.


사양

 

  Prexision-MMS
Overlay the mask-to-mask 3σ [nm] 40
Registration 3σ [nm] 65
CD repeatability 3σ [nm] 50
The mask size G8


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