FPS6100

범용 포토마스크 부문의
모든 제품에 적합

 

 
FPS6100

범용 포토마스크 부문의
모든 제품에 적합

 

 
FPS6100

범용 포토마스크 부문의
모든 제품에 적합

 

범용 포토마스크 생산에

탁월한 유연성 제공

새로운 FPS6100은 오늘날 범용 포토마스크 시장의 상위 제품군이 요구하는 개선된 Image quality 와 생산성 향상을 가능하게 합니다

FPS6100은 반도체 패키징, 터치스크린, 컬러필터, FMM(파인메탈마스크), 3D 몰드등과 같은 다양한 제품과 생산환경에 맞추어 구성 될 수 있습니다. 즉 현재의 제품을 생산하기 위하여 설비를 최대한 활용 할 수 있으며 동시에 새로운 비즈니스 기회를 공략 할 수 있습니다.

FPS6100은 기존 FPS5500 설비 대비 생산성과 image quality가 모두 개선이 되었습니다. 그리고 구형 FPS 설비는 FPS6100으로 upgrade가 가능하며 이는 기존고객들이 매우 효율적인 비용으로 생산성과 품질을 동시에 향상 시킬 수 있는 방안을 제공합니다.


주요 이점

  • 76%

    향상된 노광 속도
  • 87%

    로딩 시간 감소
  • 40%

    개선된 CD uniformity
  • 빠른 노광 속도와 준비시간의 감소로 생산성 증가
  • 탁월한 Image quality와 더 세밀해진 writing grid
  • 6개 level의 지원에 따른 플랫폼 확장성과 에멀전 노광
  • FPS5100/5300/5500에서 업그레이드 가능

사양

 

FPS6100 Lvl 80  Lvl 60 Lvl 40 
Writing speed [mm²/min] 525 1250 2600
Minimum L/S resolved (pitch/2) 0.75 1.2 2.0
CD Uniformity 3σ [nm] 30 40 60
Overlay 3σ [nm] 70 85 100
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100 Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15
Writing speed [mm²/min] 6000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 3.5 5.0 7.0
CD Uniformity 3σ [nm] 80 100 200
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [mm]     813x813*

 

FPS6100E Lvl 25 Lvl 20 Lvl 15 
Writing speed [mm²/min] 5000 8000 12000
Minimum L/S resolved (pitch/2) 6.0 8.0 12.0
CD Uniformity 3σ [nm] 600 700 900
Overlay 3σ [nm] 120 140 160
Max. mask size [mm]     813x813*

* 최대마스크사이즈 1100xx1100 900x1200확장가능 (옵션)


옵션

수 많은 옵션을 사용할 수 있으므로 고객의 요구 사항을 정확하게 준수하도록 시스템을 준비할 수 있습니다. 이런 옵션들은 또한 이미 설치된 FPS5500 시스템을 위한 성능향상옵션 (VAP,Value Added Product) 제품으로도 이용할 수 있습니다.

 


서비스


최고의 파트너

 전자 산업분야에서 30년 이상 동안 시장의 독보적인 선두주자로서 자리매김 해왔습니다. 저희는 시장의 빠른 변화를 이해하고 최상의 고객 지원을 위하여 50개국에 걸쳐 지사와 대리점을 운영하고 있습니다.  저희는 고객과 저희의 사명을 이룰 수 있고 미래에도 경쟁력을 갖춘 기술을 제공합니다.

 


연락처

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