대면적 측정

세상에서 가장 정밀한 측정 시스템


해결 과제

 

포토마스크 세트는 오늘날의 고품질 디스플레이의 중요한 구성 요소 중 하나이며, 각 마스크는 서로 정확하게 일치해야 합니다. 오버레이와 정합이 나노미터 단위로 표시되며, 이것은 사람 머리카락 굵기의 폭 위에서 거의 10만 개의 점을 식별할 수 있는 수준의 매우 작은 크기입니다.

이런 수준의 정확도를 입증하고, 고객 사양의 적합성을 입증하려면 전례 없는 신뢰도와 정확성을 갖춘 측정 시스템이 필요합니다.

  • 고객에게 귀사의 포토 마스크가 그들의 정합 규격을 준수한다는 것을 입증하는 일
  • 레이저 마스크 노광기들 간의 일관성 보장
  • 교체 순서를 원래의 마스크 세트와 일치시킴

솔루션

 

Prexision-MMS는 8세대급 패널까지 마스크 registration을 측정할 수 있습니다.

귀사의 모든 레이저 마스크 노광기를 위한 일관되고 공통된 레퍼런스를 유지함으로써 Prexision-MMS는 효율적인 생산 계획의 수립을 가능하게 합니다.

 

 


제품 약속

Prexision-MMS를 선택한다면 포토 마스크 측정을 완전히 새로운 수준으로 끌어올리고, 사양의 적합성을 입증하며, 레이저 마스크 노광기의 모든 잠재력을 활용할 수 있습니다.


연락처

 

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