大面积测量

世界上最精确的计量体系


挑战

 

现在的高品质的显示屏最关键的组件中光掩模是能够精确地互相匹配。套合和配准在纳米级尺度下方可显现,这个尺度是如此之小,以至于在一根人类发丝的宽度中可以容纳十万个点!

为了验证精确度,并证明符合您的客户要求,您需要拥有的测量系统必须具备前所未有的可靠性和准确性。

  • 向顾客证明您的光掩膜符合他们的配准规范。
  • 确保光刻机之间的一致性。
  • 使替换顺序与原有的掩膜组相匹配。

解决方案

 

Prexision MMS Evo能测量最高第8代尺寸面板的掩膜配准。

通过为您所有的光刻机提供一致的参考基准,Prexision MMS Evo可使高效的生产计划成为可能,也能够保持最短的交货时间。

 


我们的承诺

有了Prexision MMS Evo,您就能将光掩膜测量带到全新的高度,展示对规范的遵从性,并将您的光刻机的潜能发挥到极致。


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