Prexision-MMS

Display Masken
Vermessungssystem

Prexision-MMS

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Masken-Messsystem

Überprüfen Sie Ihre Qualität

Als Nachweis, dass Sie die technischen Spezifikationen erfüllen, müssen Sie während der Herstellung eines Bildschirms in der Lage sein, die präzise Ausrichtung der Fotomasken zu überprüfen. Zu diesem Zweck benötigen Sie eine Messausrüstung, die noch genauere Messungen vornimmt als der Laser-Maskenschreiber selbst.

Die Prexision MMS-Serie basiert auf der neuen hochmodernen Steuerungsplattform Evo, die entwickelt wurde, um wachsende Trends in den Bereichen Automatisierung, Konnektivität und große Datenmengen im Bereich der Maskenherstellung zu unterstützen und so eine höhere Produktausbeute zu erzielen. Die Evo-Plattform basiert auf einer hochmodernen Software- und Elektronikarchitektur, die sowohl aktuellen als auch zukünftigen Anforderungen der Industrie gerecht wird. Erfahren Sie mehr über die Steuerungsplattform Evo.


Wesentliche Vorteile

  • 30%

    Bessere Erfassung
  • 20%

    Bessere Lageermittlung
  • 30%

    Kürzere Bearbeitungszeit

(Im Vergleich zum vorherigem MMS-Modell MMS-15000)

  • Höchste Präzision und Wiederholgenauigkeit mit der neuesten, innovativen Prexision Evo-Plattform.
  • Bessere Referenzerfassung durch unsere eigenständige Technologie.
  • Schnellere Bearbeitungszeiten, denn Sie können bereits dem ersten Messergebnis trauen.
  • Nutzung des gesamten Potenzials unserer Prexision-Laser-Maskenschreiber.

Prexision MMS Evo, das auf der akkuratesten Prexision Evo-Plattform basiert, ermöglicht Referenz-Messungen größerer Bereiche auf einem vollständig neuen Niveau. Jetzt können Sie allen zeigen, wie gut Ihre Fotomasken sind.

Das Leistungsvermögen Ihres Messsystems ist auch für die Feinabstimmung Ihrer Laser-Maskenschreiber entscheidend, damit Sie deren volle Leistung nutzen können und Ihre Fotomasken mit erstklassiger Qualität geschrieben werden.

Prexision MMS Evo wird in zwei Versionen angeboten. Modell G8 ist für die Maskengröße bis zur Generation mit Glasgröße 8 geeignet, Modell G10 bis zur Generation mit Glasgröße 11.


Technische Daten

 

  Prexision MMS Evo
G8
Prexision MMS
G10
Lageermittlung der Masken 3σ [nm] 40
Referenz-Erfassung 3σ [nm] 65
CD-Wiederholbarkeit 3σ [nm] 50
Größe der Maske 1400 x 1620 1700 x 2000

 


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