Prexision-MMS

Metrologie
de masques

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Systèmes de métrologie de masque

Faites la preuve de votre qualité

Afin de démontrer la conformité des spécifications, vous devez pouvoir prouver que les empreintes sur les photomasques seront correctement alignées lors de la production de l'écran. Afin d'accomplir ceci, vous devez mesurer l'équipement avec encore plus de précision que celle fournie par la machine de marquage laser de masques.

La série Prexision MMS repose sur la nouvelle plate-forme de contrôle de pointe appelée Evo, conçue pour prendre en charge les tendances croissantes en matière d’automatisation, de connectivité et de grandes données dans l’environnement de fabrication de masques afin d’obtenir un meilleur rendement du produit. La plate-forme Evo est conçue sur la base d’une architecture logicielle et électronique entièrement moderne, prête à répondre aux exigences actuelles et futures de l’industrie. En savoir plus sur la plate-forme de contrôle Evo.


Principaux avantages

  • 30%

    Meilleur enregistrement
  • 20%

    Meilleure superposition de
  • 30%

    Délai de réalisation

(Par rapport au modèle MMS précédent - MMS-15000)
 

  • Précision et répétabilité supérieures avec la dernière plateforme Prexision Evo innovante.
  • Mesures d'enregistrement améliorées avec nos technologies exclusives.
  • Délais de réalisation plus rapides, parce que vous pouvez faire confiance au tout premier résultat de mesure.
  • Utilise le potentiel intégral de nos machines de marquage laser de masques Prexision.

Grâce à la Prexision MMS Evo, basée sur la plateforme Prexision Evo la plus précise, vous pouvez atteindre un niveau totalement inédit pour les mesures d'enregistrement sur des zones importantes. Désormais, vous pourrez faire la preuve de l'excellente qualité de vos photomasques.

En outre, la performance de votre système de mesure est essentielle pour effectuer un réglage précis des machines de marquage laser de masques et permettre d'utiliser l'intégralité de leurs capacités, pour des photomasques de la plus haute qualité.

Deux modèles de Prexision MMS Evo sont disponibles. Le modèle G8 peut prendre en charge la taille de masque utilisée pour une taille de verre de 8e génération. Le modèle G10 peut gérer une taille de verre de 11e génération.

 

 


Specifications

 

  Prexision MMS G8 Evo Prexision MMS  G10
Superposition masque sur masque 3σ [nm] 40
Inscription 3σ [nm] 65
Répétabilité des dimensions critiques 3σ [nm] 50
Taille maximale du masque [mm] 1400 x 1620 1700 x 2000


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