大型フォトマスクの測定

世界最高精度の測定装置


課題

 

近年の高品質ディスプレイ製造に欠かせない重要な要素のひとつに、均一で高精度なフォトマスクセットがあります。オーバーレイと位置精度はナノメートル単位で、その微細さは人間の髪の毛の幅におよそ10万もの測定点が存在するほどです。

このようなレベルの精度の検証とお客様の仕様を満たしていることを証明するには、今までにない信頼性と精度を兼ね備えた測定装置が必要になります。 

  • 製造したフォトマスクが、お客様の位置精度仕様を満たしていることを証明すること
  • レーザーマスク描画装置間の均一性を保証すること
  • オリジナルフォトマスクセットとの、精度の合わせ込みによる置き替えを可能とすること

ソリューション

 

マイクロニックのPrexision MMS Evoは、G8モデルとG10モデルの2機種をご提供しており、最大で第11世代ガラス基板用フォトマスクの位置精度測定が可能です。

高精度で安定性が高いPrexision MMS Evoは、一貫性がある共通のリファレンスとして常に測定できるため、お使いの全レーザーマスク描画装置の共通測定装置にすることにより、納期を短縮し、効率的な生産計画を実現できます。

 

 


約束

マイクロニックのPrexision MMS Evoは、今までにない新しいレベルでフォトマスクを測定します。要求仕様を満たしていることを証明し、レーザーマスク描画装置の性能を最大限に活用することを可能にします。


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