大型液晶ディスプレイ

フォトマスクの品質を最高レベルへ


課題

 

液晶ディスプレイのサイズは毎年、平均で1インチずつ大きくなってきました。解像度はますます増加しており、湾曲ディスプレイのような新製品のアイデアが市場に投入されています。

技術革新が続く世界で競争力を維持するためには、最高の品質が欠かせません。製品に用いる液晶パネルの製造段階で、高い歩留りで生産することが求められます。

マイクロニックのマスク描画装置Prexisionは、フォトマスク製造のデファクトスタンダードであり、世界中のフォトマスクメーカーで採用されています。

 

大型液晶ディスプレイ用フォトマスク製造の課題

  • 高品位の重ねが可能なマスクセットの製造がより困難に。重ね精度と位置精度に関しては、液晶ディスプレイメーカーの厳しい要求への対応が必要。
  • 仕様を満たしていることを示す必要があるため、ナノレベルまで測定可能な装置が必要。
  •  いまだかつてない液晶ディスプレイの需要増加により、納期予測を容易にする環境、つまり年中無休で稼動する安定したシステムが必要。

ソリューション

マイクロニックのマスク描画装置Prexisionは、フォトマスク製造のデファクトスタンダードとなっています。世界中のフォトマスクメーカーで使用されており、お客様の要望に応える高品質なマスクを製造するうえで欠かせません。

  • 最先端フォトマスク描画装置:Prexision 80 Evo
  • 最大第8世代対応の先端フォトマスク描画装置:Prexision 8 Evo
  • 最大第10世代対応の先端大型フォトマスク描画装置:Prexision 10
  • フォトマスクの仕様準拠と品質保証に最適な測定装置:Prexision MMS Evo

生産品質の一貫性を保証するには、レーザーマスク描画装置の十分なメンテナンスが必要です。マイクロニックは、ほとんどの問題を発生する前に予防保守で対処しています。保守サービスに関しては、世界各地のお客様のお近くのサービスオフィスで行っています。






約束

マイクロニックは、大型フォトマスク製造と測定に最高の歩留りをもたらすソリューションをご提供することで、液晶ディスプレイ業界に貢献しています。


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