디스플레이 마스크
측정장비
디스플레이 마스크
측정장비
디스플레이 마스크
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품질 검증
포토마스크의 사양 적합성을 검증하려면 마스크의 패턴이 디스플레이 생산 중에 적절히 정렬될 것인가를 입증할 수 있어야 합니다. 이를 위해서는 레이저 마스크 노광기보다 정밀도가 높은 측정 장비가 필요합니다.
Prexision MMS 시리즈는 Evo라는 새로운 최첨단 제어 플랫폼을 기반으로 구축되었으며, 더 높은 제품 수율을 달성하기 위해 마스크 제조 환경에서 자동화, 연결 및 빅데이터 내에서 증가하는 추세를 지원하도록 설계되었습니다. Evo 플랫폼은 업계의 현재 및 미래 요구 사항을 모두 충족시킬 수 있는 완전히 현대적인 소프트웨어 및 전자 아키텍처를 기반으로 합니다. Evo 제어 플랫폼에 대해 자세히 알아보세요.
30%
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(이전 MMS 모델과의 비교 - MMS-15000)
가장 정확한 Prexision Evo 플랫폼 기반의 Prexision MMS Evo는 넓은 면적에서의 registration 측정을 완전히 새로운 수준으로 끌어올렸습니다. 이제 귀사의 포토 마스크가 얼마나 뛰어난가를 정확히 보여 줄 수 있습니다.
측정 시스템의 성능은 정밀한 레이저 마스크 노광기에도 매우 중요합니다. 포토 마스크를 최고 품질로 노광하려면 레이저 마스크 노광기의 성능을 최대한 활용할 수 있어야 하기 때문입니다.
Prexision MMS Evo는 2가지 모델로 출시됩니다. G8모델은 최대 8세대 디스플레이 기판에 사용되는 포토마스크의 측정이 가능하며 G10모델은 최대 11세대 디스플레이 기판에 사용되는 포토마스크의 측정이 가능합니다.
| Prexision MMS G8 Evo |
Prexision MMS G10 |
|
| Overlay the mask-to-mask 3σ [nm] | 40 | |
| Registration 3σ [nm] | 65 | |
| CD repeatability 3σ [nm] | 50 | |
| The mask size [mm] | 1400 x 1620 | 1700 x 2000 |
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