보다 스마트한
세상을 위한 준비
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세상을 위한 준비
위한 진보된 기술
일상으로 스며드는 전자 제품의 수요가 증가하는 가운데 개발된 SLX 레이저 마스크 노광기는 가전제품,
사물 인터넷 기기, 자동차, 의료 기기 및 산업용 제조 설비 등 모든 것을 더 스마트하게 만드는 추세에
부응하기 위해 설계되었습니다. 이런 추세로 인하여, 다양한 회로 디자인을 필요로 하면서 가격에 민감한
보급형 반도체의 대량 생산을 위한 포토마스크의 수요가 급성장했습니다. 업계는 마스크당 노광 비용이 낮은 레이저 기반 마스크 노광기를 사용하는 것을 선호하여 전체 포토마스크의 70~75%가 레이저 기술을
이용하여 생산되고 있어 레이저 마스크 노광기는 반도체 산업의 중추로 인식되고 있습니다.
그러나, 현재 생산현장에서 가동하는 레이저 마스크 노광기가 노후화됨에 따라 생산은 느려지고, 비용은
증가하여 결과적으로 생산 효율적이지 않습니다.
Mycronic은 안정적이고 신뢰할 수 있는 시스템 운영을 보장하는 현대적인 아키텍처를 기반으로 제작된 비용 효율적인 차세대 레이저 마스크 노광기인 SLX 시리즈로 이러한 문제를 해결합니다.
Mycronic은 디스플레이 산업에서 세계에서 가장 진보된 마스크 노광기의 공급업체로서 독보적인 위치에
있습니다. 디스플레이 포토마스크의 경우, 포토마스크 크기가 반도체 산업에서 사용되는 포토마스크에 비해
50-100배 크기 때문에 전체 포토마스크 영역에 걸쳐 확실한 품질을 보증함과 동시에 빠른 노광 속도가
중요합니다. Mycronic의 가장 진보된 디스플레이 마스크 노광기와 동일한 멀티 빔 노광 기술을 활용하는 SLX 시리즈는 확실한 품질로 6" 포토 마스크를 20여분 이내에 노광할 수 있습니다. 또한, SLX 시리즈는 솔리드 스테이트 레이저를 통해 레이저에 사용되는 전력의 최대 99%를 절약하여 에너지 소비를 크게
줄여 줍니다. SLX 시리즈는 가격에 민감한 보급형 반도체 노드 제조에 가장 적합한 설비입니다.
빠르게 변화하는 전자제품 시장의 추세에 부응하기 위해 반도체 산업은 진화를 거듭해 왔으며, 포토마스크
산업도 이러한 추세에 발맞추어야 합니다. 문제는 현장에 설치된 레이저 설비가 노후화 되고, 유지가 어렵다는 점입니다. SLX 시리즈는 최신 HW 및 SW 플랫폼을 기반으로 설계되어 빠르게 변화하는 시장 추세를 맞출 수 있는 유연성을 확보하고 미래의 고객 요구를 충족할 수 있는 새로운 기능을 개발할 수 있습니다. 따라서 SLX는 앞으로도 계속 개발될 것이며 향후 동일한 플랫폼을 기반으로 성능이 향상되고, 더 빠른 모델이 출시될 예정입니다.
SLX 시리즈는 Mycronic의 다른 마스크 노광기에도 사용하는 Evo 플랫폼을 기반으로 제작 되었습니다.
즉, 당사의 숙련된 서비스 조직이 현장에서 시스템 설치 후 첫날부터 SLX 시리즈를 지원할 수 있으므로 현장의 노후화된 다른 설비들에서는 불가능했던 시스템 가동 시간을 극대화하고 시스템 성능을 최적화할 수 있습니다.
| Passes | 2P | 1P |
| 노광 속도* | ~40 분 | ~20 분 |
| CD Uniformity (3σ) | 25 nm | 35 nm |
| Registration (3σ) | 30 nm | 40 nm |
| 마스크 사이즈 | 5”~12” |
| Passes | 3P | 2P | 1P |
| 노광 속도* | ~97 분 | ~64 분 | ~32 분 |
| CD Uniformity (3σ) | 12 nm | 15 nm | 20 nm |
| Registration (3σ) | 20 nm | 25 nm | 30 nm |
| 마스크 사이즈 | 5”~9” |
| Passes | 3P | 2P | 1P |
| 노광 속도* | ~169 분 | ~113 분 | ~56 분 |
| CD Uniformity (3σ) | 10 nm | 12 nm | 20 nm |
| Registration (3σ) | 20 nm | 25 nm | 30 nm |
| 마스크 사이즈 | 6” |
*6인치 마스크 예상 노광 시간
