대면적 측정

세상에서 가장 정밀한 측정 시스템


해결 과제

 

포토마스크 세트는 오늘날의 고품질 디스플레이의 중요한 구성 요소 중 하나이며, 각 마스크는 서로 정확하게 일치해야 합니다. 오버레이와 정합이 나노미터 단위로 표시되며, 이것은 사람 머리카락 굵기의 폭 위에서 거의 10만 개의 점을 식별할 수 있는 수준의 매우 작은 크기입니다.

이런 수준의 정확도를 입증하고, 고객 사양의 적합성을 입증하려면 전례 없는 신뢰도와 정확성을 갖춘 측정 시스템이 필요합니다.

  • 고객에게 귀사의 포토 마스크가 그들의 정합 규격을 준수한다는 것을 입증하는 일
  • 레이저 마스크 노광기들 간의 일관성 보장
  • 교체 순서를 원래의 마스크 세트와 일치시킴

솔루션

 

Prexision MMS Evo는 8세대급 패널까지 마스크 registration을 측정할 수 있습니다.

귀사의 모든 레이저 마스크 노광기를 위한 일관되고 공통된 레퍼런스를 유지함으로써 Prexision MMS Evo는 효율적인 생산 계획의 수립을 가능하게 합니다.

 

 


제품 약속

Prexision MMS Evo를 선택한다면 포토 마스크 측정을 완전히 새로운 수준으로 끌어올리고, 사양의 적합성을 입증하며, 레이저 마스크 노광기의 모든 잠재력을 활용할 수 있습니다.


연락처

 

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