Konstruerad för
en smartare värld
Konstruerad för
en smartare värld
Konstruerad för
en smartare värld
dagens snabba halvledarindustri
Lasermaskritaren SLX är född ur en växande efterfrågan på vardagselektronik och är utformad för att möta trenden att göra allting smartare: konsumtionsvaror, bilar, sakernas internet, bilar, medicintekniska produkter och även industriell produktionsutrustning, för att bara nämna några. Detta driver en efterfrågan på fotomasker av mogna designnoder på grund av en större variation av de mönster som krävs, kombinerat med priskänslig volymproduktion. Branschen föredrar att använda laserbaserade maskritare tack vare dess lägre exponeringskostnad per mask. Därför tillverkas 70 – 75 % av alla fotomasker med laserteknik, vilket innebär att lasermaskritarna utgör ryggraden i halvledarindustrin.
Lasermaskritarna som nu är i drift börjar dock att bli gamla och leder till långsam och dyr produktion som därför inte blir ändamålsenlig.
Mycronic tar sig an denna utmaning med SLX-serien – en ny generation kostnadseffektiva lasermaskritare – byggd på modern arkitektur som säkerställer stabil och tillförlitlig systemdrift.
Mycronic har en unik position som leverantör av världens mest avancerade maskritare för displaybranschen. För fotomasker för displayer är hög skrivhastighet i kombination med garanterad kvalitet inom det övergripande fotomaskområdet avgörande eftersom fotomaskernas storlek är 50 – 100 gånger större än andra fotomasker som används inom halvledarindustrin. Genom att använda samma flerstråleteknik för skrivning som finns i Mycronics mest avancerade maskritare för displayer kan SLX-serien exponera en fotomask på 6" på endast 20 minuter med garanterad kvalitet. Dessutom använder SLX-serien en Solid State-laser, vilket minimerar driftskostnaderna tack vare lägre elförbrukning. SLX-serien är det bästa systemvalet för priskänslig, mogen halvledarnodtillverkning.
För att klara elektronikmarknadens trender har halvledarindustrin med tiden utvecklats och fotomaskbranschen behöver tillgodose dessa trender. Laserverktygen inom området är dock gamla och svåra att underhålla. SLX-serien bygger på de allra senaste hårdvaru- och programvaruplattformarna, vilket möjliggör flexibilitet i en snabbt föränderlig värld och ger möjlighet att utveckla nya funktioner för att klara framtida kundkrav. SLX kommer således att utvecklas över tid och i framtiden kommer förbättrade och snabbare modeller att lanseras, baserade på samma plattform.
SLX-serien delar kontrollplattformen Evo, som också används för andra maskritare från Mycronic. Detta innebär att vår kunniga serviceorganisation med lokal närvaro kan stödja SLX-serien redan från dag 1 efter systeminstallation, vilket möjliggör maximal drifttid för systemet och optimerar systemets prestandan, något som inte är möjligt om man använder de äldre systemen inom området.
Antal pass | 2P | 1P |
Skrivhastighet* | ~40 min | ~20 min |
Linjebreddsvariation (3σ) | 25 nm | 35 nm |
Registrering (3σ) | 30 nm | 40 nm |
Maskstorlek | 5”~12” |
Antal pass | 3P | 2P | 1P |
Skrivhastighet* | ~97 min | ~64 min | ~32 min |
Linjebreddsvariation (3σ) | 12 nm | 15 nm | 20 nm |
Registrering (3σ) | 20 nm | 25 nm | 30 nm |
Maskstorlek | 5”~9” |
Antal pass | 3P | 2P | 1P |
Skrivhastighet* | ~169 min | ~113 min | ~56 min |
Linjebreddsvariation (3σ) | 10 nm | 12 nm | 20 nm |
Registrering (3σ) | 20 nm | 25 nm | 30 nm |
Maskstorlek | 6” |
*Uppskatta exponeringstiden för 6” maskområdet